欧洲杯体育除中枢的 EUV 光刻机外-万博官方体育app下载(官方)网站/网页版登录入口/手机版最新下载

IT 之家 12 月 19 日音书，日本先进逻辑半导体制造商 Rapidus 告示欧洲杯体育，其购入的首台 ASML TWINSCAN NXE:3800E 光刻机已于当地技能昨日在其北海谈千岁市 IIM-1 晶圆厂完成委用并运转装配。这亦然日本境内初度引入量产用 EUV 光刻诞生。

Rapidus 首席扩充官、日本政府代表、北海谈及千岁市地点政府代表、ASML 高管、荷兰驻日本大使等干系东谈主士出席了在北海谈新千岁机场举行的挂牵典礼。

NXE:3800E 是 ASML EXE 系列 0.33 ( Low ) NA EUV 光刻机的最新式号，能雀跃 Rapidus 首代量产工艺 2nm 的制造需求。该光刻机与 0.55 ( High ) NA EXE 平台分享部分组件，晶圆混沌量较前款 NXE:3600D 进步 37.5%。

除中枢的 EUV 光刻机外，Rapidus 还将在 IIM-1 晶圆厂装配一系列配套先进半导体制造诞生以及全自动材料科罚系统，以兑现 2nmz 制程 GAA（IT 之家备注：全环绕栅极）结构半导体的坐褥。

Rapidus 再次阐发 IIM-1 晶圆厂将于 2025 年 4 月运转试产，且该晶圆厂总共半导体制造诞生均将采取"单晶圆工艺"欧洲杯体育，Rapidus 将在该样式下构建名为 RUMS（快速和谐和制造工作）的新式半导体代工样式。